洁净室检测方法

一、测试目的

确认在无尘室释放颗粒后，测量在多少时间内能恢复到释放之前的洁净水平。

二、测试仪器

颗粒测试仪（品牌：美国 MET ONE空气粒子计数器），型号：HHPC2+、HHPC3+、HHPC6+；3413、3423、3411、3445、颗粒释放器。

三、测试位置

任意抽取测量点，也可与相关人员共同确认测试点。

四、测试步骤

1 .在测试开始之前要保证净房空调系统正常运转24以上，让洁净环境达到一个稳定的水平。

2. 在抽取的测量点放好颗粒计数器，先做颗粒洁净度测试，记录该房间每立方英尺体积的空气中含有的0.3um颗粒数量，连续测试数分钟，待取一个稳定的数据，此时，再将该房间的整个空调系统全部断电。

3. 在该房间内释放颗粒，使于外界非洁净区域的颗粒自使整个洁净室0.3um的颗粒浓度达到之前浓度的10或100倍。此时再启动空调系统，使其正常运行，测试该洁净室内颗粒浓度恢复到之前水平所需要的时间 。